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发布:2020-07-20 21:08,更新:2010-01-01 00:00






自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器,用很薄的Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性。可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各种传感器,使用环境包括淡水、海水、炼油厂、化工厂、血液和体液以及辐射环境等。由于很薄的Parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护,对传感器的灵敏度影响很小。



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       由于派瑞林是气相沉积,它可涂覆于极细微的空间和孔隙。由于其分子级聚合作用,即一次一个分子附着于沉积表面,派瑞林涂层超薄,不会形成气孔,并能敷形涂布于元件上。派瑞林还能满足微小尺寸和极轻重量的装置的严格要求。任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。派瑞林不会显著增加质量——这对微型植入装置来说是非常关键的一个优势。



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      Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。


       Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。




       钕铁硼磁铁镀层一般有镀镍,铜,铬,金,黑锌,蓝白锌,环氧树脂等。使用的材料的不同,磁铁表面的颜色也会不同。保存时间,抗腐蚀能力也不一样。据测试表明,在酸、碱、盐三种溶液中,派瑞林对磁铁的保护,环氧树脂相对差些,NI涂层次之,ZN涂层相对较差。


       目前派瑞林涂层在超小尺寸的钕铁硼上应用比较多。常规产品例如永磁电机,考虑提高搞腐蚀性的话,可以选择电泳环氧漆,一般产品可以选择镀镍,镀锌等。客户可以根据产品的性质选择合适的电镀材料。




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